< Назад | Содержимое | Далее >
прямые и дифрагированные лучи, а двойной интеграл в уравнении
распределения электронной плотности на выходной поверхности образца, перенесен(н3о6го) выполняется для рассмотрения всех возможных пар прямых/
к плоскости изображения через несколько линз проектора. Однако, дифрагированные лучи. В идеально когерентном случае Tcc становится
Tcc(Q, Q0 ) = t(Q)t*(Q0 ) = A(Q)A(Q0 )exp[i(Q) + i(Q0 )], и, таким образом, уравнение (36) идентично уравнению (33). Tcc, сопровождаемое частичным когерентным эффектом, может быть получено путем интегрирования Tcc в идеально когерентном случае как по распространению направления освещения, вызывающему пространственную некогерентность, так и по распространению дефокусировки, вызывающему временную некогерентность (Ishizuka, 1980; Kirkland, 2020),
TccðQ; Q0 Þ¼ AðQÞAðQ0 Þexp iðQÞþ ½ iðQ0 Þ
Благодарности
YS благодарит доктора Акиру Мияке из Киотского университета за его плодотворные подсказки и обсуждения. Авторы также благодарят
соредактора и двух анонимных рецензентов за комментарии и предложения, которые улучшили статью.
Информация о
финансировании Данная работа была частично поддержана
ЕСДК; Q0 ÞECðQ; Q0 Þ;
где ES(Q, Q0 ) и EC(Q, Q0 ) — огибающие функции, заданные как
ЕСДК; Q0 Þ¼
Р37Т
JSPS KAKENHI (гранты № JP20KK0079, JP18H01268, JP18K13991 и JP20K05088).